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2月25日消息，中微公司披露2021年业绩快报，报告显示，中微营业收入 亿元，较上年同期增长 %; 归属于母公司所有者的净利润亿元，较上年同期增长 %；归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为 万元，较上年同期减 少%。

营收方面，中微公司2021年刻蚀设备收入为 亿元，同比增长约%；由于市场原因，中微公司2020 年 MOCVD 设备收入为  亿元，同比下降约%。

报告称，2021年中微公司营业利润、利润总额和归属于母公司所有者的净利润较上年同期分别增长 %、%和 %，主要有两方面原因:一是中微公司2020 年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3 亿元 而间接持有中芯国际科创板股 票，因中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动收益约  亿元。另外，中微公司2020 年计入非经常性损益的政府补助较2021年增加约  亿元。

此外，归属于中微母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润较上年同期减少 %，主要系中微公司2021年因实施股权激励计划产生股份支付费用约  亿元 （属于经常性损益），2019 年无该类费用发生。若剔除股份支付费用的影响， 2020 年归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润约为  亿元，较上年同期约减少 %。